Auger- elektronspektroskopi (AES)

Anvendelse

  • Bestemmelse av sammensetning i overflaten (i de øverste 3-10 atomlag) med hensyn til alle grunnstoffer, untatt H og He.
  • Bestemmelse av sammensetningen under overflaten (100 nm) ved dybdeprofilering med anvendelse av sputtering med edelgassioner.
  • Undersøkelse av variasjoner i sammensetning over en overflate, oppløsningen er ca. 100 nm. Bestemmelsen av langt mindre enn et monolag atomer på en overflate.

Prinsipp

Augerelektroner dannes når et grunnstoffatom eksiterer av elektroner og x-ray med så stor energi at et indre elektron fra k,l eller m-skallene slås løs. Deretter faller et elektron fra ett av de ytre skallene inn på en ledig plass, dette gjør at det frigjøres en viss energimengde. Dette kan brukes til å frigjøre et tredje elektron; Auger-elektronet, så lenge det er tilstrekkelig med energi tilgjengelig slik at den kan overvinne materialets løsrivelsesarbeid, og dermed forlate overflaten. Det er dermed tre elektroner involvert i frigjørelsen av et Auger-elektron. Elektronfordelingen av Auger-elektronet kan nå bestemmes, pga meget ugunstige signal/støy-fohold fremstilles resultatet med en kurve som viser den første avledende som funksjon av energien.


AES.jpg
Bilde 1: Prinsipp ADS

Tilstand og form

Prøven må være av fast stoff, og damptrykket må ikke være for høyt på grunn av at utstyret arbeider ved lavt trykk. Prøvestørrelsen kan maks være 1 cm og minmimum 1 mikrometer. Overflaten må være helt ren og uten smuss. Analysetiden kan gjennomføres på ca. 5 minutter.

Referanser

Møller, Per(1998): Overfladeteknologi

Bildereferanser

bilde 1: "http://wiki.utep.edu/display/~sfalmeida/AES"